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关于成都气相沉积炉的应用

来源:http://chengdu.sinokiln.com/news666112.html
发布时间:2021-8-16 17:23:00

咸阳陶瓷研究设计院有限公司为您主要提供成都磷酸铁锂煅烧炉,成都硅碳负极包覆设备,成都回转炉等相关的展示和信息更新,欢迎您的收藏。

随着科技的发展传统的难熔金属制备方式成本较高,成都气相沉积炉如果将气体引入到室内,室内的衬底表面就会发生化学反应,对化学相沉积炉有了全新的要求,气相沉积炉技术在锂电子电池材料也可以应用,借助气相沉积炉本身易重现和覆盖性等特点,以下是有关气相沉积炉的使用:

1、为气相沉积炉主体内有加热室,水冷电极,测温热电偶,是处理工件的核心部分。

2、为混气罐,由1只电动蝶阀、2只浮子流量计和4只不锈钢手动截止阀组成,负责氩气和丙烷的混气配比,以及向沉积炉内定量输送工作气体。

3、2台滑阀泵负责炉内空气及工作废气的排除,使炉子工作在恒定的压力范围之内。

4、过滤罐2台负责滑阀泵前级的粉尘排除。

5、真空电动蝶阀2台在滑阀泵工作过程中,通过调节阀的开度,从而可以调节泵的抽速。

6、加热磁性调压器,3台独立工作,完成炉温的控制。


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