一、设备用途:化学气相沉积炉主要用于碳化硅(SIC)及氮化硼(BN)等新材料的制备。二、气相沉积炉设备特点:1 立式结构,气相沉积炉炉门采用丝杠升降或液压升降/手动升降。2 双层炉壳结构,内层不锈钢,...
气相沉积炉的作用是在高温下气相反应,例如,金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解,氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机材料的方法。这种技术较初是作为涂层的手段...
气相沉积炉是时代发展进步的产物,气相沉积炉是通过化学反应的方式,利用加热、等离子激励或光辐射等各种能源,在反应器内使气态或蒸汽状态的化学物质在气相或气固界面上经化学反应形成固态沉积物的技术。简单来说就...
现在很多大学实验室、研究院都在采用气相沉积炉,与其他沉积方法相比,气相沉积炉除了具有设备操作简单、维护方便、灵活性强外,还具有以下一系列的优点:(1)在中温和高温下,气相沉积炉通过气态的初始化合物之间...
气相沉积炉是我公司多年研发生产的设备,气相沉积炉是指在高温下的气相反应,例如,金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解,氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机材料...
科源气相沉积炉技术成熟、型号齐全、质量可靠、服务有保障,是各大高校和科研机构长期合作企业,可根据需求定制。下面我们来了解一下气相沉积炉的技术特点。1)在中温或高温下,通过气态的初始化合物之间的气相化学...