气相沉积炉设备室是立式结构，气相沉积炉炉门采用丝杠升降或液压升降/手动升降。双层炉壳结构，内层不锈钢，外层为碳钢，中间通水冷却。石墨碳棒加热体，石墨碳毡保温层保温效果好。控制方式为PLC加触摸屏方式，...
